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磁過濾陰極弧具有離化率高,離子能量較大,適用于絕大多數金屬與合金材料。通過電磁過濾優化,可以很好地過濾電弧產生的液滴,提高了薄膜質量。
如果采用碳C做為陰極,本公司的過濾弧源可以用于制備超硬四面體 ta-C 碳膜。
技術參數:
電弧電壓:20V - 80V
電弧電流:20A - 100A
可調節聚焦磁體、引弧磁體
水冷陰陽極
氣動觸發
陰極尺寸:頂部F50mm x 底座F70mm x 高度50mm
過壓、過流、缺水等保護
座機:021-6992-5088
朱經理:187-1797-6220
郵箱:18717976220@163.com
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